样气中的氧分子通过高分子薄膜扩散到氧电极中进行电化学反应，电化学反应中产生的电流决定于扩散到氧电极的氧分子数，而氧的扩散速率又正比于样气中的氧含量，这样该传感器输出信号大小只与样气中的氧含量相关，而与通过传感器的气体总量无关。在线微量氧分析仪通过外部电路的连接，反应中的电荷转移即电流的大小与参加反应的氧成正比例关系。仪器采用此方法进行测氧，可以不受被测气体中还原性气体的影响，免去了许多的样气处理系统。
在线微量氧分析仪是化学原电池，主要由一个阴极，一个阳极和电解液组成，以上部件密封于惰性的壳中，被测气体中的氧进入电池中阴极附近O2得到电子，阳极由金属铅制成，失去电子本身被氧化，电池产生的电子由电路引出然后进行补偿修正放大，即可测出被测气体中的氧含量。
采用干态的消石灰粉作为吸收剂，也可采用其它对二氧化硫有吸收反应能力的干粉或浆液作为吸收剂。烟气从底部通过文丘里管进入循环流化床吸收塔内。携带大量固体颗粒的烟气从吸收塔顶部排出，进入再循环除尘器，被分离出来的颗粒经中间灰仓返回吸收塔。
在线微量氧分析仪中的氨水或液氨与烟气接触混合，洗涤后的烟气经过液滴分离器除去水滴进入前置洗涤器中。吸收液自塔顶喷淋洗涤烟气，二氧化硫被洗涤吸收除去，经洗涤的烟气排出后经液滴分离器除去携带的水滴，进入脱硫洗涤器。在该洗涤器中烟气进一步被洗涤，经塔顶的除雾器除，进入脱硫洗涤器，再经烟气换热器后经烟囱排放。
在线微量氧分析仪特点：
1.选用进口燃料电池式微量氧检测元件，具有寿命长，反应速度快等；
2.采用全中文人机对话菜单，操作直观方便；
3.上、下限报警点可在全量程范围内任意设置，具有无纸记录仪功能，自动记录氧浓度随时间的变化曲线。
4.定时自动存储功能，可随时查看存储数据，量程自动换挡、报警点可在全量程范围内任意设置；
5.采样系统使用长度达数英尺的管道和接头，因此存在潜在的泄漏和堵塞的问题。
6.采用革新的设计，通过精密机加工，设计生产了一体式采样通路模块，显著提高仪器的反应速度，并且消除了内部泄漏的问题。
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